한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2006년도 춘계학술발표회 초록집
- /
- Pages.121-121
- /
- 2006
유도결합 플라즈마 스퍼터링을 이용한 플라스틱 기판 상의 Al이 도핑된 ZnO 박막 증착
Deposition of Al doped ZnO films using ICP-assisted sputtering on the plastic substrate
- 발행 : 2006.04.01