한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

PECVD 방법으로 제조된 $SnO_2$ 박막의 미세구조와 전기적 특성

Microstructure and Electrical Properties of $SnO_2$ Thin Films prepared by PECVD Method

  • 이정훈 (충북대학교 신소재공학과) ;
  • 장건익 (충북대학교 신소재공학과) ;
  • 김광식 (충북대학교 신소재공학과) ;
  • 김경원 (충북대학교 신소재공학과) ;
  • 손상희 (청주대학교 전자정보공학부)
  • 발행 : 2006.04.01
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