한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

RF Sputtering에 의해 증착된 ITO 박막의 우선배향성 및 표면형상 조절: 산소분압효과

Preferred Orientation and Surface Morphology of RF Sputtered ITO Thin Films: Effect of Oxygen Partial Pressure

  • 김재형 (경북대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 2006.04.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드