Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference (한국정보처리학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
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- Pages.1175-1178
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- 2006
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- 2005-0011(pISSN)
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- 2671-7298(eISSN)
A Study on Communication Protocol Inter-conversion between Semiconductor Process Equipment
반도체 공정장비 간 통신 프로토콜 상호 변환에 대한 연구
- Lee Jin-Su (Dept of Computer Engineering, Hoseo University) ;
- Kim Young-Deuk (Dept of Computer Engineering, Hoseo University) ;
- Hwang In-Su (ACE Technolagy CO, LTD) ;
- Kim Woo-Sung (Dept of Computer Engineering, Hoseo University)
- Published : 2006.05.01
Abstract
반도체 공정 자동화를 위해 SEMI에서 제창한 표준 규약인 SECS Protocol은 메시지 전송을 위한 규약인 SECS-I과 HSMS, 실제 통신되는 메시지에 대한 규약인 SECS-II로 구성된다. 하지만 SECS-I에서는 통신속도가 느리고, 근거리 통신만 가능하고, 호스트 컴퓨터와 설비간의 연결이 1:1로 이루어져야 하는 등 여러 가지 문제점도 있고 요즘에는 TCP/IP 기반의 HSMS Protocol 장비가 나오기 때문에 SECS-I을 HSMS로 변환시켜 주는 장치가 필요하다. 본 논문에서는 SECS-I 지원용으로 제작된 설비라도 HSMS를 지원할 수 있도록 하여 HSMS가 갖는 여러 가지 장점을 갖도록 하는 SECS-I/HSMS 변환방법에 관해 살펴본다.
Keywords