Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

2006.11a
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Pages.25-30
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2006

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)

권호 표지

Micro patterning using laser-assisted chemical vapor deposition

레이저 증착에 의한 미세 패턴 형성

김창재 (LG전자 생산기술원) ;
이재영 (LG전자 생산기술원) ;
송민규 (LG전자 생산기술원) ;
조창현 (LG전자 생산기술원) ;
강형식 (LG전자 생산기술원)

Published : 2006.11.17

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Abstract

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