한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.467-468
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- 2006
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- 2005-8446(pISSN)
RF 스위치 적용을 위한 박막 PZT 엑추에이터의 $d_{31}$ 구동과 $d_{33}$ 구동 특성 비교
Comparison between $d_{31}\;and\;d_{33}$ actuation characterization of the PZT micro-actuator for RF MEMS switch
- 신민재 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
- 서영호 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
- 최두선 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
- 황경현 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터)
- Shin M.J. (KIMM, Nano-Mechanical System Research Center) ;
- Seo Y.H. (KIMM, Nano-Mechanical System Research Center) ;
- Choi D.S. (KIMM, Nano-Mechanical System Research Center) ;
- Whang K.H. (KIMM, Nano-Mechanical System Research Center)
- 발행 : 2006.05.01
초록
In this work, we present the comparison between