한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2006년도 추계학술발표회 초록집
- /
- Pages.77-77
- /
- 2006
65 nm이하 shallow trench isolation (STI) gap-fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구
Study on profile improvement for sub-65 nm shallow trench isolation (STI) gap filling
- 발행 : 2006.10.19