Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
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- Pages.74-74
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- 2006
Formation and Thermal stability of Ni-Germanide for High Performance Transistor Applications
고속 트랜지스터 응용을 위한 Ni-Germanide의 형성 및 열적 안정성 연구
- Park, Gyeong ;
- Lee, Byeong-Ho ;
- Lee, Dong-Won ;
- Go, Dae-Heung ;
- Gwak, Gyeong-Hwan ;
- Yang, Cheol-Ung ;
-
Kim, Hyeong-Seop
- 박경 (성균관대학교 신소재공학부) ;
- 이병호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 고대흥 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 곽경환 (성균관대학교 신소재공학부) ;
- 양철웅 (성균관대학교 신소재공학부) ;
-
김형섭
(성균관대학교 신소재공학부)
- Published : 2006.10.19
Abstract
Keywords