한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C-N코팅막의 합성 및 기계적 특성

Syntheses and mechanical properties of Ti-B-C-Ncoatings by a plasma-enhanced chemical vapor depositio

  • 윤지환 (부산대학교 박막재료 연구실) ;
  • 허수정 (부산대학교 박막재료 연구실) ;
  • 김광호 (부산대학교 박막재료 연구실)
  • 발행 : 2006.10.19
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