Thermal evaporation 방법을 이용한 금속박막의 응력 거동

Stress behavior of metal thin films produced by thermal evaporation

  • 류상 (전남대학교 신소재공학과 재료강도실험실) ;
  • 마승환 (전남대학교 신소재공학과 재료강도실험실) ;
  • 이경천 (전남대학교 신소재공학과 재료강도실험실) ;
  • 김영만 (전남대학교 신소재공학과 재료강도실험실)
  • 발행 : 2006.10.19