한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2006년도 추계학술발표회 초록집
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- Pages.33-34
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- 2006
반응성 스퍼터링법으로 증착한 AZO박막의 제조 및 특성평가
Preparation and Characterization of Al-doped ZnO Films Deposited by Reactive Co-sputtering
- 발행 : 2006.10.19