한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

반응성 스퍼터링법으로 증착한 AZO박막의 제조 및 특성평가

Preparation and Characterization of Al-doped ZnO Films Deposited by Reactive Co-sputtering

  • 발행 : 2006.10.19
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