Yield-related Multi-variate Control Method based on Feature

특성 기반 수율관련 다변량 관리 방안

본 연구는 수율에 영향을 주는 변수들이 많이 존재하고 그들 간의 복잡한 상호 작용에 의한 수율변동이 예상되는 환경에서 기존의 관리도를 개별 공정에서 별도로 운영하여 관리하는 것이 아니라 모든 변수 중에서 상호 작용을 가지는 변수들의 조합을 특성으로 정의하고 이들의 변동을 관리함으로써 수율변동을 효과적이고 쉽게 관리할 수 있는 방안을 제시하였다. 즉, 과거에 생산된 제품 중에서 수율이 좋은 것과 나쁜 것을 구분하고 좋은 것과 나쁜 것에 대해 각각 특성을 정의하고 특성 변화의 패턴을 추출하여 향후 새로 만들어지는 제품의 패턴이 어느것과 더욱 유사한지를 규명하여 수율 이상을 사전 예방할 수 방법이다.