Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

고속 초정밀 장행정용 이중 서보 시스템의 고속 세틀링을 위한 모드 변경 제어 기법

  • 김정재 (한국과학기술원기계공학과) ;
  • 최영만 (한국과학기술원기계공학과) ;
  • 김기현 (삼성전자 메카트로닉스 연구 센터) ;
  • 권대갑 (삼성전자 메카트로닉스 연구 센터) ;
  • 홍동표 (전북대학교 정밀기계공학과)
  • Published : 2006.10.12
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Abstract

반도체의 고집적화와 LCD의 대형화로 인해 웨이퍼 및 LCD 검사용 스테이지의 성능 향상이 요구된다. 본 논문에서는 고속의 검사속도, 서브마이크론의 검사 정밀도, 그리고 대행정 구동을 위한 이중 서보 시스템을 제안하였다. 이중 서보 시스템은 선형모터로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 조동 구동부와 보이스 코일 모터(VCM)로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 미세 구동부로 구성된다. 검사 효율을 향상시키기 위한 고속 세틀링을 위한 제어기로서 시간 최적 제어 기법과 시간 지연 제어기를 결합한 모드 변경 제어기를 제안하고 이중 서보 시스템에 구현하여 성능을 평가하였다.

Keywords