한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

접촉형변위센서를 이용한 노광기용 마스크-글라스간 갭 및 평형 조절 장치

  • 임광국 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 서화일 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 조현찬 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 정종대 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 강흥석 ((주)오에프티)
  • 발행 : 2006.10.12
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초록

본 연구에서는 기존의 레이저 변위센서 대신 접촉형 변위센서를 이용하여 마스크-기판간 갭 간격 및 평형 조절 장치를 구현함으로써 기판의 표면 상태에 관계없이 정확한 마스크-기판간 갭의 조정, 평형 유지가 가능하도록 하였다.

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