한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

고정밀 얼라인을 위한 기판 조작장치 기구설계

  • 이동은 (공주대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 김숙한 (공주대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 김준철 (공주대학교 자동차 공학부) ;
  • 이응기 (공주대학교 기계자동차 공학부)
  • 발행 : 2006.10.12
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초록

OLED TV의 실현뿐만 아니라 생산성 향상을 위한 OLED의 유리기판의 대면적화가 요구되고 있다. 그러나 대면적 유리 기판은 얇은 두께로 인해 조작이 매우 어렵다. 이 연구는 굽힘지지의 새로운 대면적 유리 기판의 조작방법으로 유리 기판의 처짐을 최소화 하려 한다. 또한 대면적 유리기판의 최소 처짐을 위해 다양한 실험이 수행되고 있다. 이 새로운 유리 기판의 조작방법은 OLED 디스플레이의 제조과정에 사용될 수도 있다.

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