한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

증착 변수에 따른 TCO 박막의 전기적 및 광학적 특성

The Electrical and Optical Characteristics of TCO Thin Films with Processing Parameters

  • 정충헌 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 홍윤정 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김혜진 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 이규만 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 안진형 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김상호 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
  • Jeong, Chung-Heon (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • Hong, Youn-Jeong (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • Kim, Hye-Jin (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • Lee, Kyu-Mann (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • An, Jin-Hyung (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • Kim, Sang-Ho (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
  • Kim, Yeong-Cheol (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education)
  • 발행 : 2006.10.12
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초록

RF 스퍼터링법을 이용하여 AZO(Al 2wt%, ZnO 98wt%)박막을 glass위에 증착한 후 증착 시간과 증착 압력에 따른 면저항, roughness 및 광투과도를 조사하였다. 본 연구에서 AZO박막의 면 저항은 4-point probe(Guardian, 402S)으로 측정하였으며 광투과도는 IR-VIS-UV spectrophotometer로 측정하였다. AZO 박막을 20분 증착하는 동안, 아르곤 flow양이 50, 100, 150sccm일 때 면저항은 $20\;{\Omega}/{\square}$이고, 200sccm일 때 $3744\;{\Omega}/{\square}$였다. AZO 박막의 두께를 일정하게 증착하는 동안, 아르곤 flow양이 50sccm일 때 면저항은 $49.6\;{\Omega}/{\square}$이고 100, 150, 200sccm일 때 $38{\Omega}/{\square}$였으며, 광투과도는 모두 80%이상을 보였다. Roughness는 각각 4.1nm, 7.6nm, 5.2nm, 16.9nm였다.

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