한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

공초점 주사 현미경에서 고속, 고품질 3차원 영상복원을 위한 최적조건

  • 김태훈 (한국과학기술원 기계공학과 Nano Opto Mechatronics 연구실) ;
  • 김태중 (한국과학기술원 기계공학과 Nano Opto Mechatronics 연구실) ;
  • 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과 Nano Opto Mechatronics 연구실(나노스코프시스템즈㈜))
  • 발행 : 2006.10.12
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초록

공초점 주사 현미경(Confocal Scanning Microscope, CSM)은 Bio-cell 및 특정 형태를 가지는 object의 고분해능 3차원 영상복원이 가능하여 3차원 측정장비로 주로 사용된다. 특히 LCD 패널 및 반도체 웨이퍼의 불량 검사 장비로의 활용이 가능하여 3차원 영상으로부터 불량 여부와 원인을 알아낼 수 있다. 하지만 생산 공정에서 불량 검사를 하기 위해서는 고속, 고품질의 성능이 요구된다. 따라서 이 논문에서는 공초점 주사 현미경을 이용하여 고분해능으로 고속, 고품질의 3차원 영상복원을 할 때 어떠한 조건이 요구되는지 알아보고 시뮬레이션 하도록 하겠다.

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