Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Investigation of porous silicon AR Coatings for crystalline silicon solar cells

결정질 태양전지 적용을 위한 다공성 실리콘 반사방지막 특성 분석

  • Lee, Hyun-Woo (Dept. of Electronic Engineering, Sejong Univ.) ;
  • Kim, Do-Wan (Dept. of Electronic Engineering, Sejong Univ.) ;
  • Lee, Eun-Joo (Dept. of Electronic Engineering, Sejong Univ.) ;
  • Lee, Soo-Hong (Dept. of Electronic Engineering, Sejong Univ.)
  • Published : 2006.06.22
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Abstract

본 연구에서는 태양전지 표면에 입사된 광자의 반사손실을 최소화하기 위한 방법으로써 기판 표면에 다공성 실리콘층을 이용한 반사방지막 (Anti-Reflection Coating, ARC)을 형성하는 실험을 하였다. 다공성 실리콘(Porous silicon, PSi)은 실온에서 일정 비율로 만든 전해질 용액($HF-C_2H_5OH-H_2O$)을 사용하여 실리콘 표면을 양극산화처리 함으로써 단순 공정만으로 실리콘 기판의 반사율을 높일 수 있다. 또한 새로운 레이어(layer)없이 기존 기판을 식각시켜 만들기 때문에 박막형 태양전지를 제작시 적용이 용이하다. 저비용, 단순공정의 이점을 살려 전류밀도에 따른 PSi의 반사방지막으로써의 특성을 비교 분석하였다.

Keywords