한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

진동 둔감 광 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정

Profile measurements of silicon wafers using a vibration-desensitized optical interferometer

  • 권택민 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김학용 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2006.02.09
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