DOEs제작을 위한 Circular Laser Writing System에서의 Auto-focusing system

Auto-focusing unit in circular laser writing system for diffractive optical elements

  • 하관수 (한남대 물리학과) ;
  • 조재흥 (한남대 물리학과) ;
  • 송재봉 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이혁교 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 김동익 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이회윤 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)
  • 발행 : 2006.07.01