A Study on Vibration Characteristics of the Linear stage for CCD

Linear stage의 진동 특성 연구

  • 김병찬 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 이문석 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 박영진 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2006.10.18