Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2006.10a
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Pages.535-536
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2006
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

FIB Processing Technology for Nano Stamp

Nano Stamp 제작을 위한 FIB 가공 공정 기술 연구

Kang, E.G. (KITECH) ;
Choi, B.Y. (KITECH) ;
Hong, W.P. (KITECH) ;
Lee, S.W. (KITECH) ;
Choi, H.Z. (KITECH)

강은구 (한국생산기술연구원) ;
최병열 (한국생산기술연구원) ;
홍원표 (한국생산기술연구원) ;
이석우 (한국생산기술연구원) ;
최헌종 (한국생산기술연구원)

Published : 2006.10.18

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Abstract

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