Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2006.10a
/
Pages.531-532
/
2006
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

The surface characteristic analysis of adhesion promoter used in the nanoimprint process

나노 임프린트 공정에 이용되는 접착증가막의 표면 특성 분석

Lee, D.I. (Korea Institute of Machinery & Materials) ;
Kim, K.D. (Korea Institute of Machinery & Materials) ;
Jeong, J.H. (Korea Institute of Machinery & Materials) ;
Lee, E.S. (Korea Institute of Machinery & Materials) ;
Choi, D.G. (Korea Institute of Machinery & Materials)

이동일 (한국기계연구원) ;
김기돈 (한국기계연구원) ;
정준호 (한국기계연구원) ;
이응숙 (한국기계연구원) ;
최대근 (한국기계연구원)

Published : 2006.10.18

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords