Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.489-490
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Fabrication of sub-micron double patterned structure using reversal imprint

역 임프린트 공정을 이용한 양면 다층 나노 구조물 제작

  • Han, Kang-Soo (Dept. of material science and engineering, Korea Univ.) ;
  • Hong, Sung-Hoon (Dept. of material science and engineering, Korea Univ.) ;
  • Lee, Heon (Dept. of material science and engineering, Korea Univ.)
  • 한강수 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

Keywords