한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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Pages.171-172
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2006
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Spin Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

Study on Optimization of Micro Dot Pattern Etching process using the Spin Wet Etching Process

이해곤 (제이엠아이(주)연구소) ;
손성기 (제이엠아이(주)연구소) ;
고민수 (제이엠아이(주)연구소) ;
이종훈 (제이엠아이(주)연구소) ;
이재숙 (제이엠아이(주)연구소)

Lee, H.G. (JMI co,. Ltd. R&D Center) ;
Son, S.K. (JMI co,. Ltd. R&D Center) ;
Ko, M.S. (JMI co,. Ltd. R&D Center) ;
Lee, J.H. (JMI co,. Ltd. R&D Center) ;
Lee, J.S. (JMI co,. Ltd. R&D Center)

발행 : 2006.10.18

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