대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

원통형 PN접합의 항복전압의 농도에 대한 민감도

Sensitivity Analyses on Breakdown Voltage of Cylindrical PN Junctions to the Doping Concentrations

  • 서현석 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
  • 조중열 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
  • 안희태 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부) ;
  • 최연익 (아주대학교 정보통신대학 전자공학부)
  • Seo, Hyun-Seok (School of Electrical and Compuer Engineering, Ajou University) ;
  • Jo, Jung-Yol (School of Electrical and Compuer Engineering, Ajou University) ;
  • Ahn, Hee-Tae (School of Electrical and Compuer Engineering, Ajou University) ;
  • Choi, Yearn-Ik (School of Electrical and Compuer Engineering, Ajou University)
  • 발행 : 2006.10.27
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초록

원통형 PN접합의 Baliga의 해석적인 항복전압에 대한 근사식을 유도하였다. 근사식은 접합길이, $r_j$와 공핍층 깊이, $W_{pp}$의 비 ($r_i/W_{pp}$)가 0.1보다 작은 경우 Baliga식과 잘 일치하였다. 농도에 대한 원통형 접합의 항복전압의 민감도를 유도하였으며, 근사식을 사용한 경우가 Baliga식의 경우보다 민감도식이 더 간단하기 때문에, 민감도를 고려한 소자 설계 시 활용될 수 있으리라 기대된다. 민감도 식을 이용하여 설계한 결과 항복전압의 편차가 10% 이내로 제어하기 위해서는 도핑농도가 $10^{15}cm^{-3}$이고 접합깊이가 $5{\mu}m$ 인 원통형 접합인 경우 농도 편차가 12.8%이내 이어야한다.

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