한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가

  • 차남구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 김인권 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)
  • 발행 : 2006.11.03
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