한국레이저가공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference)

한국레이저가공학회 (Korean Society of Laser Processing)
권호 표지

Nd:YAG 레이저 어블레이션을 이용한 PZT 엑츄에이터의 빗살형 전극 제작

Interdigitated electrodes fabrication of PZT actuator by using Nd:YAG laser ablation

  • 홍진욱 (한국기계연구원 지능형 정밀기계본부) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 지능형 정밀기계본부) ;
  • 서정 (한국기계연구원 지능형 정밀기계본부) ;
  • 신동식 (한국기계연구원 지능형 정밀기계본부)
  • 발행 : 2006.06.02
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