Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
- /
- Pages.32.1-32.1
- /
- 2006
Effects of Mo under-layer thickness on the microstructure and hillock formation of pure Al film for the interconnection of TFT
Mo under-layer의 두께에 따른 TFT 신호 배선 용 순수 Al 박막에서의 미세 구조 변화 및 hillock 형성에 미치는 영향
- Published : 2006.05.19