Integration of epitaxial oxide thin films on Si substrate using pulsed laser deposition and their dielectric properties

  • 김은미 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 김태언 (전남대학교 광공학협동과정) ;
  • 문종하 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이원재 (동의대학교 나노공학과) ;
  • 김진혁 (전남대학교 신소재공학부)
  • Published : 2006.05.19