Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of post-annealing on properties of $Ta_2O_5$ films grown by ALD

ALD로 성장시킨 $Ta_2O_5$ 박막의 열처리에 따른 특성변화

  • 이재웅 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 함문호 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김형준 (포항공과대학 신소재공학과) ;
  • 명재민 (연세대학교 금속공학과)
  • Published : 2006.05.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords