한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)

한국산학기술학회 (The Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호 표지

졸-겔법을 이용한 고순도 석영유리 기판 제조

Preparation of high-purity quartz panel using sol-gel method

  • 남병욱 (한국기술교육대학교 응용화학공학과) ;
  • 안정숙 (한국기술교육대학교 응용화학공학과) ;
  • 박성은 (주식회사 새 빛) ;
  • 신지식 (주식회사 새 빛) ;
  • 오한석 (주식회사 새 빛)
  • 발행 : 2006.11.02
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초록

본 논문에서는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 슬러리용으로 사용되는 저가이면서 입도 분포가 균일한 콜로이달 실리카(Colloidal Silica)를 사용하여 추가의 첨가제 없이 열처리 공정만을 거쳐 석영유리를 제조하여 6N의 순도와 1 mm 두께 기준 86%의 자외선 투과율 그리고 AFM(Atomic Force Microscopy) 및 간섭계 현미경을 이용하여 표면의 거칠기가 1 nm 미만인 고순도 석영유리를 제조하였다.

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