Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)
- 2006.11a
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- Pages.257-260
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- 2006
Characterization of quartz glass substrate for TFT-LCD panel
TFT-LCD 패널용 석영유리기판의 특성평가
- Park, Sung-Eun (SEBIT Co. Ltd.) ;
- Shin, Ji-Shik (SEBIT Co. Ltd.) ;
- Oh, Han-Seog (SEBIT Co. Ltd.) ;
- Kim, Ki-Young (Dept. of Advanced Materials Engineering, Korea University of Technology and Education) ;
- Kang, Bok-Hyun (Dept. of Advanced Materials Engineering, Korea University of Technology and Education)
- Published : 2006.11.02
Abstract
본 논문에서는 TFT-LCD 패널용 석영유리기판을 제작하여 투과율, OH함량, OH농도분포, 점도, 열팽창계수 등에 대한 특성 평가를 하였다. 그 결과 고온 poly-Si TFT-LCD용 기판으로의 사용 가능성을 확인하였다.
Keywords