Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.07c
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- Pages.1455-1456
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- 2006
Study of Electron Transport Coefficients in $C_{n}F_{2n+2}$ (n=1,2,3) Molecular Gas
$C_{n}F_{2n+2}$ (n=1,2,3) 분자가스의 전자수송계수 연구
Abstract
반도체 에칭분야에 많이 이용되고 있는
Keywords