대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

잉크젯 인쇄 배선의 소성 특성 연구

Sintering Behavior of Conducting Line by Inkjet Printing

  • 장명준 (삼성전기 기술총괄 중앙연구소) ;
  • 백윤아 (삼성전기 기술총괄 중앙연구소) ;
  • 정현철 (삼성전기 기술총괄 중앙연구소) ;
  • 정재우 (삼성전기 기술총괄 중앙연구소)
  • 발행 : 2006.07.12
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초록

Electronics 분야에서 잉크젯 프린팅 배선 제작에 많이 사용되는 전도성 은 나노 잉크의 소성 특성을 연구하였다. 잉크젯 프린터를 이용하여 미세 배선을 인쇄하고, 열처리에 따른 비저항의 변화 양상을 관찰하였다. SEM을 통해 미세구조를 관찰하여 배선의 전기 저항과 미세 구조와의 상관관계를 고찰하였다. $250^{\circ}C$ 20분 동안 소성을 하였을 매 가장 낮은 비저항을 얻었으며 순수 은의 비저항 대비 약 2.6배였다. 또한 TEM을 통해 배선 내부의 pore를 관찰하였고, 그 분포올를 측정하였다.

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