Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.07c
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- Pages.1404-1405
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- 2006
Characterization of ZnO Thin Films prepared by Pulsed Laser Deposition Technique
PLD 기술로 제작된 ZnO 박막의 특성
- No, In-Jun (Inha Univ.) ;
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Shin, Paik-Kyun
(Inha Univ.) ;
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Lee, Neung-Heon
(Kyungwon Univ.) ;
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Kim, Yong-Hyuk
(Kyungwon College) ;
- Ji, Seung-Han (Kyungwon Univ.) ;
- Lee, Sang-Hee (Hanjoong Univ.) ;
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Han, Sang-Ok
(Chungnam National Univ.)
- 노임준 (인하대학교 전자전기공학부) ;
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신백균
(인하대학교 전자전기공학부) ;
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이능헌
(경원대학교 전자공학) ;
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김용혁
(경원전문대학) ;
- 지승한 (경원대학교 전자공학) ;
- 이상희 (한중대학교) ;
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한상옥
(충남대학교 전기공학과)
- Published : 2006.07.12
Abstract
Transparent ZnO thin films were deposited on quartz substrates by a KrF pulsed laser deposition (PLD) technique with different process conditions such as substrate temperature (
Keywords