대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1364-1365
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- 2006
나노기공 알루미나 주형을 이용한 $TiO_2$ N-type 반도체 계면에 관한 연구
Characterization the surface of $TiO_2$ N-type semiconductor using the nanoporous alumina template
- 허현정 (명지대학교 나노공학과) ;
- 김정민 (명지대학교 나노공학과) ;
- 박성확 (명지대학교 나노공학과) ;
- 최영진 (명지대학교 물리학과) ;
- 김재완 (명지대학교 물리학과) ;
- 강치중 (명지대학교 물리학과) ;
- 김한수 (두원공과대학) ;
- 김용상 (명지대학교 전기공학과)
- Her, Hyun-Jung (Dept. of Nano Science and Eng., Myongji University) ;
- Kim, Jung-Min (Dept. of Nano Science and Eng., Myongji University) ;
- Park, Sung-Hwak (Dept. of Nano Science and Eng., Myongji University) ;
- Choi, Y.J. (Dept. of Physics, Myongji University) ;
- Kim, Jae-Wan (Dept. of Physics, Myongji University) ;
- Kang, C.J. (Dept. of Physics, Myongji University) ;
- Kim, Han-Soo (Dept. of Building Equipment, Doowon Technical College) ;
- Kim, Yong-Sang (Dept. of Electrical Eng., Myongji University)
- 발행 : 2006.07.12
초록
본 논문에서는 두께 0.25 mm의 알루미늄 포일 (foil)을 이용해 나노기공 알루미나 주형을 만들었다. 우선 알루미늄 포일 표면의 유기물을 제거한 후, 전해연마 방법을 이용하여 표면을 매끄럽게 하였다. 또, 양극산화를 통해 알루미늄 표면에 나노기공을 형성하였다. 나노기공 알루미나(
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