Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.07c
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- Pages.1347-1348
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- 2006
Simulation on Structure of Spiral Inductors for LAM Process Applications
LAM 공정 응용을 위한 나선형 인덕터의 구조에 대한 시뮬레이션
- Yun, Eui-Jung (Dept. of Information Control Eng., Hoseo Univ.) ;
- Kim, Jae-Wook (Dept. of Electronic Eng., Namseoul Univ.) ;
- Park, Hyeong-Sik (Dept. of Information Control Eng., Hoseo Univ.) ;
- Lee, Won-Kuk (Dept. of Information Control Eng., Hoseo Univ.)
- Published : 2006.07.12
Abstract
기존 반도체공정들이 갖는 리소그래피와 식각 등의 공정단계를 배제하는 direct-write 공정을 이용하여 친환경적인 이점을 가질 수 있는 나선형 인덕터의 구조를 제안하고 주파수 특성을 확인하였다. 인덕터의 구조는 Si를
Keywords