Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.07d
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- Pages.1773-1774
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- 2006
Compensation of Laser system using Optimization Methods in Multiple Environments
다중 환경에서의 최적화 기법을 이용한 레이저 시스템의 비선형성 보정
- Hong, Min-Suk (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lee, U-Ram (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Choi, In-Sung (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Heo, Gun-Hang (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Jong-Eul (Sungkyunkwan Univ.) ;
- You, Kwan-Ho (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2006.07.12
Abstract
나노 기술의 급격한 발달에 따라 나노미터 수준의 정밀도를 갖는 초정밀 측정 기술이 여러 분야에서 요구되고 있다. 헤테로다인 레이저 간섭계를 이용하여 초정밀 위치 측정을 하려고 할 때, 광학기기 자체의 불완전함에서 발생하는 비선형성 오차는 주요한 요소로 작용한다. 본 논문에서는 헤테로다인 레이저 간섭계 시스템에서의 비선형성을 보정해주기 위해 적응형 알고리즘을 제안한다. 기준 입력인 정전용량센서와 최소자승법을 이용하여 보정변수를 구한 후, 반복 최소자승법을 이용하여 비선형성에 따른 타원 위상을 비선형성이 보정된 원 위의 위상으로 사상시킨다.
Keywords