한국레이저가공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference)

한국레이저가공학회 (Korean Society of Laser Processing)
권호 표지

레이저유도 습식에칭에 의한 고세장비 마이크로채널 제조

Fabrication of high-aspect ratio micro-channels with laser-induced wet etching

  • 오광환 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 이민규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2005.11.11
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