Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)
권호 표지

Characteristic Comparison on the Micro Patterning of Cr Thin Films by Femto/Nano Laser

펨토초/나노초 레이저에 의한 Cr 박막의 미세 패터닝 특성 비교

  • 신홍규 (강원대학교 기계 메카트로닉스공학과) ;
  • 김웅겸 (강원대학교 기계 메카트로닉스공학과) ;
  • 김병희 (강원대학교 기계 메카트로닉스공학과) ;
  • 이종길 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 정세채 (한국표준과학연구원 나노광계측부)
  • Published : 2005.06.10
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Abstract

Keywords