CFUBM 법을 이용한 ZrAlN/CrN 복합 화합물 박막에 관한 연구

A Study on the ZrAlN/CrN complex compound films by CFUBM

  • 김연준 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이호영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 신경식 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 정우성 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2005.05.26