한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.256-256
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- 2005
PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성
Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
- 발행 : 2005.05.26