Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.256-256
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- 2005
Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords