Nano-patterning on flexible substrate using Hot embossing Lithography

핫 엠보싱 공정을 이용한 플랙시블 기판 나노 패터닝

  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26