Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application

게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조

  • 김상엽 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
  • 정영순 (서울시립대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26