Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Optimization of mask fabrication process for EUV lithography

극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구

  • 김우삼 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김충용 (한양대학교 디스플레이공학과) ;
  • 김태근 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

Keywords