Optimization of mask fabrication process for EUV lithography

극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구

  • 김우삼 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김충용 (한양대학교 디스플레이공학과) ;
  • 김태근 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.05.26