Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of buffer layer deposition on the ZnO thin film by RF magnetron sputtering on Si (111) substrates

RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향

  • 박태은 (동아대학교 신소재공학과 반도체물성실험실) ;
  • 조형균 (동아대학교 신소재공학과) ;
  • 김영이 (동아대학교 신소재공학과 반도체물성실험실) ;
  • 홍순구 (충남대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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