한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.230-230
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- 2005
플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과
Effect of Boron carbide thin films with RF power by plasma enhanced chemical vapor deposition
- Yeon, Dae-Heum ;
- Jin, Jeong-Geun ;
- Kim, Gil-Yeong ;
- Gang, Ho-Jae ;
- Park, Hyeon-Gyu ;
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Byeon, Dong-Jin
- 발행 : 2005.05.26