Design and Fabrication of Si Micro Grippers with Pneumatic Lines for Micro Gripping for Micro Parts and Bio-Cells

마이크로 부품 및 세포의 마이크로 그리핑을 위한 Pneumatic line 을 갖는 Si Micro Gripper 의 설계 및 제작

  • Published : 2005.05.26